Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
| Autor principal: | Ефремов А. М. Александр Михайлович |
|---|---|
| Altres autors: | Светцов В. И. Владимир Иванович |
| Sumari: | В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Москва, Физматлит, 2012
|
| Col·lecció: | Фундаментальная и прикладная физика |
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=284012 |
Ítems similars
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
per: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Publicat: (Москва, Физматлит, 2013)
per: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Publicat: (Москва, Физматлит, 2013)
Т. 8: Плазменная металлургия; Низкотемпературная плазма
Publicat: (1992)
Publicat: (1992)
Т. III-3 : Транспортные свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publicat: (2009)
Publicat: (2009)
Т. VIII-1. Химия низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publicat: (2005)
Publicat: (2005)
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
per: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)
per: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)
Элементарные процессы и кинетика низкотемпературной плазмы: учебное пособие
per: Девятов А. М. Альфат Минниханович
Publicat: (Москва, Изд-во МГУ, 1992)
per: Девятов А. М. Альфат Минниханович
Publicat: (Москва, Изд-во МГУ, 1992)
Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
per: Владимирова Л. Н.
Publicat: (Воронеж, ВГУ, 2014)
per: Владимирова Л. Н.
Publicat: (Воронеж, ВГУ, 2014)
Мощные генераторы плазмы
per: Глебов И. А. Игорь Алексеевич
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)
per: Глебов И. А. Игорь Алексеевич
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)
"Неравновесная плазма" как фактор активации гемокоагуляции; Тромбоз, гемостаз и реология; № 2 (66)
Publicat: (2016)
Publicat: (2016)
Динамика мощных импульсных излучений и плазменных образований
per: Ступицкий Е. Л. Евгений Леонидович
Publicat: (Москва, Физматлит, 2006)
per: Ступицкий Е. Л. Евгений Леонидович
Publicat: (Москва, Физматлит, 2006)
Вопросы физики низкотемпературной плазмы: сборник статей
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1970)
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1970)
Импульсный ток и релаксация в газе
per: Малкин О. А. Олег Алексеевич
Publicat: (Москва, Атомиздат, 1974)
per: Малкин О. А. Олег Алексеевич
Publicat: (Москва, Атомиздат, 1974)
Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Publicat: (Казань, Изд-во КАИ, 1983)
Publicat: (Казань, Изд-во КАИ, 1983)
Теплофизические свойства низкотемпературной плазмы
Publicat: (Москва, Наука, 1976)
Publicat: (Москва, Наука, 1976)
Разряд в смесях инертных газов
per: Шибкова Л. В.
Publicat: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2005)
per: Шибкова Л. В.
Publicat: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2005)
Экспериментальные и теоретические исследования плазмохимических процессов: [сборник трудов]
Publicat: (Москва, Наука, 1984)
Publicat: (Москва, Наука, 1984)
Функция распределения электронов в анизотропной плазме
per: Мустафаев А. С. Александр Сеит-Умерович
Publicat: (Санкт-Петербург, Изд-во НМСУ, 2013)
per: Мустафаев А. С. Александр Сеит-Умерович
Publicat: (Санкт-Петербург, Изд-во НМСУ, 2013)
Т. 4: Плазмохимическая технология; Низкотемпературная плазма
Publicat: (1991)
Publicat: (1991)
Т. 6: ВЧ- и СВЧ- плазмотроны; Низкотемпературная плазма
Publicat: (1992)
Publicat: (1992)
Физика, техника и применение низкотемпературной плазмы: труды IV Всесоюзной конференции по физике и генераторам низкотемпературной плазмы
Publicat: (Алма-Ата, 1970)
Publicat: (Алма-Ата, 1970)
Т. 5: Устойчивость горения электрической дуги; Низкотемпературная плазма
Publicat: (1992)
Publicat: (1992)
Низкотемпературная плазма: межвузовский сборник
Publicat: (Казань, Изд-во КАИ, 1985)
Publicat: (Казань, Изд-во КАИ, 1985)
Теория и расчет приэлектродных процессов; Низкотемпературная плазма
Publicat: (Новосибирск, Наука, 1992)
Publicat: (Новосибирск, Наука, 1992)
Плазменные и селективные по изотопам процессы в потоке ВЧ-плазмы, находящейся во внешнем магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
per: Ижойкин Д. А.
Publicat: (2017)
per: Ижойкин Д. А.
Publicat: (2017)
Прикладная плазмохимия: учебное пособие
per: Пушкарёв А. И. Александр Иванович
Publicat: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)
per: Пушкарёв А. И. Александр Иванович
Publicat: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)
Плазменные техника и технологии: электронный курс
per: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publicat: (Томск, TPU Moodle, 2015)
per: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publicat: (Томск, TPU Moodle, 2015)
Неравновесная плазма многозарядных ионов
Publicat: (Москва, Наука, 1992)
Publicat: (Москва, Наука, 1992)
Т. I-3: Ионосферная плазма. Ч. 1; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publicat: (Москва, Янус-К, 2008)
Publicat: (Москва, Янус-К, 2008)
Основы физики процессов в устройствах с низкотемпературной плазмой
per: Недоспасов А. В. Артур Владимирович
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1991)
per: Недоспасов А. В. Артур Владимирович
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1991)
Динамика элементарных атомно-молекулярных процессов в газе и плазме
Publicat: (Москва, Наука, 1991)
Publicat: (Москва, Наука, 1991)
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
per: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
per: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
Измерение электронной концентрации и проводимости частично ионизованной плазмы инертных газов; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 124, вып. 5
Publicat: (2003)
Publicat: (2003)
Физика и техника низкотемпературной плазмы: сборник научных трудов
Publicat: (Минск, Ин-т тепло и массобмена, 1977)
Publicat: (Минск, Ин-т тепло и массобмена, 1977)
Процессы переноса в многокомпонентной плазме
per: Жданов В. М.
Publicat: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)
per: Жданов В. М.
Publicat: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)
Низкотемпературная плазма в металлургии
per: Краснов А. Н. Адольф Никитович
Publicat: (Москва, Металлургия, 1970)
per: Краснов А. Н. Адольф Никитович
Publicat: (Москва, Металлургия, 1970)
Полимеризация в плазме: пер. с англ.
per: Ясуда Х.
Publicat: (Москва, Мир, 1988)
per: Ясуда Х.
Publicat: (Москва, Мир, 1988)
Лазерный контроль дисперсной фазы гетерогенной плазмы; Изотопы: технологии, материалы и применение
per: Гамов Д. Л. Денис Леонидович
Publicat: (2016)
per: Гамов Д. Л. Денис Леонидович
Publicat: (2016)
Термодинамический расчет равновесного состава воздушной плазмы, взаимодействующей с компонентами пиротехнических составов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 306, № 3
per: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Publicat: (2003)
per: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Publicat: (2003)
Разряд в смесях инертных газов
per: Шибкова Л. В. Лидия Владимировна
Publicat: (Москва, Физматлит, 2005)
per: Шибкова Л. В. Лидия Владимировна
Publicat: (Москва, Физматлит, 2005)
Проблемы субмикронной технологии
Publicat: (Москва, Наука, 1993)
Publicat: (Москва, Наука, 1993)
Ítems similars
-
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
per: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Publicat: (Москва, Физматлит, 2013) -
Т. 8: Плазменная металлургия; Низкотемпературная плазма
Publicat: (1992) -
Т. III-3 : Транспортные свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publicat: (2009) -
Т. VIII-1. Химия низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publicat: (2005) -
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
per: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)