|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
284012 |
| 005 |
20231101235643.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785922114066
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\308151
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\262678
|
| 090 |
|
|
|a 284012
|
| 100 |
|
|
|a 20150211d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
|f А. М. Ефремов, В. И. Светцов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Физматлит
|d 2012
|
| 215 |
|
|
|a 216 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Фундаментальная и прикладная физика
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце глав.
|
| 330 |
|
|
|a В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазма низкотемпературная
|x Кинетическая теория
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48932
|9 67749
|
| 610 |
1 |
|
|a неравновесная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a хлор
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a гетерогенные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a активные частицы
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a молекулярные газы
|
| 610 |
1 |
|
|a инертные газы
|
| 610 |
1 |
|
|a хлорная плазма
|
| 675 |
|
|
|a 533.915
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Ефремов
|b А. М.
|g Александр Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Светцов
|b В. И.
|g Владимир Иванович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130716
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150218
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
