|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
283744 |
| 005 |
20231101235628.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\307869
|
| 090 |
|
|
|a 283744
|
| 100 |
|
|
|a 20150210d1984 km y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a GB
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Mobile ions in metal-oxide-silicon structures; effects of ion implantation and annealing
|f G. Greeuw
|
| 210 |
|
|
|a Shevwood
|c Geboren te Noord-Scharwoude
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 174 p.
|c il.
|
| 320 |
|
|
|a bibliography at the end of articles
|
| 606 |
1 |
|
|a Ионная имплантация
|x (физика твердого тела)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\13073
|9 39750
|
| 606 |
1 |
|
|a Диоксид кремния
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\72645
|9 86067
|
| 610 |
1 |
|
|a подвижные ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a теория
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a эффекты
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a температура
|
| 610 |
1 |
|
|a натрий
|
| 610 |
1 |
|
|a литий
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные ловушки
|
| 610 |
1 |
|
|a калий
|
| 610 |
1 |
|
|a эксперименты
|
| 610 |
1 |
|
|a результаты
|
| 610 |
1 |
|
|a исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a английский язык
|
| 610 |
1 |
|
|a английский язык
|
| 675 |
|
|
|a 539.2:539.1
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 661.68
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Greeuw
|b G.
|g Gerrit
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150210
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171017
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
