Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов (германия и кремния): утверждены Госгортехнадзором СССР и Министерством цветной металлургии СССР в 1982 г.

Бібліографічні деталі
Співавтор:	Гостехнадзор РФ
Інші автори:	Хмелева С. К. (редактор), Куприна О. К. (составитель)
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Металлургия, 1984
Предмети:	Полупроводники > Производство техника безопасности правила безопасности полупроводниковые материалы германий кремний производственный процесс требования
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=283704

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	283704
005	20241115135222.0
020			\|a RU \|b 85-5015
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\307828
090			\|a 283704
100			\|a 20150210d1984 km y0rusy5003 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a y z 000zy
200	1		\|a Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов (германия и кремния) \|e утверждены Госгортехнадзором СССР и Министерством цветной металлургии СССР в 1982 г. \|f Гостехнадзор РФ ; под ред. С. К. Хмелева ; сост. О. К. Куприна
210			\|a Москва \|c Металлургия \|d 1984
215			\|a 33 с.
606	1		\|a Полупроводники \|x Производство \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50584 \|9 69237
610	1		\|a техника безопасности
610	1		\|a правила безопасности
610	1		\|a полупроводниковые материалы
610	1		\|a германий
610	1		\|a кремний
610	1		\|a производственный процесс
610	1		\|a требования
675			\|a 621.315.592.002 \|z rus \|v 3
702		1	\|a Хмелева \|b С. К. \|4 340
702		1	\|a Куприна \|b О. К. \|4 220
712	0	2	\|a Гостехнадзор РФ \|7 ca \|8 rus \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\9785 \|9 24749
801		0	\|a RU \|b RuMRKP \|c 19950704 \|g psbo
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150210
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20170926 \|g RCR
942			\|c BK