|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
283563 |
| 005 |
20231101235617.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\307682
|
| 090 |
|
|
|a 283563
|
| 100 |
|
|
|a 20150209d1984 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
|e пер. с англ.
|f под ред. Дж. Р. Брюэра
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 335 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 316-332
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника полупроводниковая
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43820
|9 63262
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевые процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевые установки
|
| 610 |
1 |
|
|a шаблоны
|
| 610 |
1 |
|
|a репродуцирование
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Брюэр
|b Дж. Р.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150209
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160907
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
