MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 283543
005 20231101235616.0
020 |a RU  |b 84-70132 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\307656 
090 |a 283543 
100 |a 20150207d1984 m y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов  |e учебник для техникумов  |f А. Д. Булкин, Н. И. Якивчик 
210 |a Москва  |c Энергоатомиздат  |d 1984 
215 |a 255 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 249 
320 |a Предметный указатель: с. 250-252 
606 1 |a Полупроводниковые приборы силовые  |x Производство  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50725  |9 69375 
610 1 |a технология 
610 1 |a оборудование 
610 1 |a материалы 
610 1 |a механическая отработка 
610 1 |a химическая обработка 
610 1 |a изготовление 
610 1 |a p-n структуры 
610 1 |a p-n переходы 
610 1 |a диэлектрические пленки 
610 1 |a кремний 
610 1 |a фотолитография 
610 1 |a защита 
610 1 |a внешние воздействия 
610 1 |a конструкции 
610 1 |a сборка 
610 1 |a учебные пособия 
675 |a 621.314.632.002(075.32)  |z rus  |v 3 
700 1 |a Булкин  |b А. Д.  |g Анатолий Дмитриевич  |4 070 
701 1 |a Якивчик  |b Н. И.  |g Николай Иванович  |4 070 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150207 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170915  |g RCR 
942 |c BK