Вып. 7; Активируемые процессы технологии микроэлектроники

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Активируемые процессы технологии микроэлектроники: междуведомственный тематический научный сборник/ Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ). Вып. 7.— , 1975-1986.— 0320-4502
Altri autori:	Сеченов Д. А. (редактор)
Lingua:	russo
Pubblicazione:	1984
Soggetti:	Микроэлектронные схемы > Производство математическое моделирование ионная бомбардировка превращения активация электрофизические параметры контроль технологические процессы
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=283245

Descrizione
Descrizione fisica:	153 с. граф.

Documenti analoghi