Сеченов Д. А. (1984). Вып. 7; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1984.
Citação norma ChicagoСеченов Д. А. Вып. 7; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1984, 1984.
Citação norma MLAСеченов Д. А. Вып. 7; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1984, 1984.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.