Сеченов Д. А. (1984). Вып. 7; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1984.
Chicago Style (17th ed.) CitationСеченов Д. А. Вып. 7; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1984, 1984.
MLA (9th ed.) CitationСеченов Д. А. Вып. 7; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1984, 1984.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.