|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
283006 |
| 005 |
20231101235544.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 85-1911
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\307026
|
| 090 |
|
|
|a 283006
|
| 100 |
|
|
|a 20150204d1983 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Конструирование и технология микроэлектронной аппаратуры
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ) ; под ред. Л. А. Коледова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭТ
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 99 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронная аппаратура
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a конструирование
|
| 610 |
1 |
|
|a МЭА
|
| 610 |
1 |
|
|a погрешности
|
| 610 |
1 |
|
|a градуировка
|
| 610 |
1 |
|
|a пьезокварцевые датчики
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a узлы
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a двуокись германия
|
| 610 |
1 |
|
|a инжекционно-полевая логика
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|z rus
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Коледов
|b Л. А.
|g Леонид Александрович
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ)
|c (1992-2010)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\2285
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150204
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170727
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
