|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
282993 |
| 005 |
20231101235543.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 85-1893
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\307013
|
| 090 |
|
|
|a 282993
|
| 100 |
|
|
|a 20150204d1983 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. Т. Д. Шермергора
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭТ
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 135 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a пьезоэлектрические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхпроводящие свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электрические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a композиционные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a расчеты
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|z rus
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Шермергор
|b Т. Д.
|g Тимофей Дмитриевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150204
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170725
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
