Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) & Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич. (1983). Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1983.
Chicago Style (17th ed.) CitationМосковский государственный институт электронной техники (МИЭТ) and Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич. Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1983, 1983.
MLA (9th ed.) CitationМосковский государственный институт электронной техники (МИЭТ) and Шермергор Т. Д. Тимофей Дмитриевич. Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1983, 1983.