Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике

Bibliographic Details
Main Author:	Валиев К. А. Камиль Ахметович
Other Authors:	Раков А. В. Александр Васильевич
Language:	Russian
Published:	Москва, Радио и связь, 1984
Subjects:	электронные пучки формирование быстрые электроны взаимодействие с веществом ионно-лучевая литография физика субмикронная фотолитография
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=282945

Similar Items

Физика субмикронной литографии
by: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Published: (Москва, Наука, 1990)

Ч. 1
Published: (1990)

Искусство литографии практическое руководство для художников
by: Суворов П. И. Петр Иванович
Published: (Москва, Искусство, 1952)

Искусство литографии практическое руководство для художников
by: Суворов П. И. Петр Иванович
Published: (Москва, Искусство, 1964)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Published: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Ч. 2
Published: (1990)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Published: (Москва, Наука, 1987)

Радиационное накопление заряда в твердых диэлектриках и методы его диагностики
by: Боев С. Г. Сергей Григорьевич
Published: (Москва, Энергоиздат, 1991)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Физические закономерности взаимодействия сильноточного электронного пучка с веществом Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Спец. 01.04.20
by: Вальчук В. В. Виктор Васильевич
Published: (Томск, 1993)

Modification of stainless steel based on synergistic of low-energy high-intensity ion implantation and high-current electron beam impact on the surface layer
Published: (2021)

Дозиметрия электронного излучения
by: Баранов В. Ф. Владимир Филиппович
Published: (Москва, Атомиздат, 1974)

Решение методом Монте-Карло задач переноса быстрых электронов в веществе
by: Аккерман А. Ф. Абрам Фишелевич
Published: (Алма-Ата, Наука, 1972)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
by: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs
Published: (2006)

Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes
by: Geynts Yu. E. Yury Elmarovich
Published: (2022)

Электромагнитные каскадные процессы
by: Иваненко И. П. Игорь Павлович
Published: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1972)

Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
by: Попов В. К. Виктор Кузьмич
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

Нейтронные измерения
by: Ярицына И. А. Ирина Александровна
Published: (Москва, Изд-во стандартов, 1972)

Разработка и создание программ расчета прохождения электронного пучка конечных размеров в слабопроводящих средах Итоговый отчет о НИР Тема: х/д 0-31/77
Published: (Томск, 1979)

Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники учебное пособие для студентов направления «электроника и наноэлектроника»
by: Орликов Л. Н.
Published: (Москва, ТУСУР, 2018)

Радиационная дозиметрия: электронные пучки с энергиями от 1 до 50 МэВ пер. с англ. доклад 35 Международной Комиссии по радиационным единицам и измерениям
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1988)

Физика электронных и атомных столкновений сборник научных трудов
Published: (Ленинград, Изд-во ФТИ, 1987)

Ориентационные эффекты при скользящем взаимодействии быстрых электронов с диэлектрическими поверхностями
Published: (2015)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Published: (Москва, Юрайт, 2016)

Атомные столкновения в газах и на поверхности твердого тела [монография]
Published: (Ташкент, Фан, 1988)

Surface Free Energy of TiNi Alloy after Ion Beam Treatment and its Effect on the Proliferative Activity of Stem Cells
Published: (2019)

Т. 5 : Ионно-пучковая технология
Published: (1989)

Ионно-электронно-плазменная модификация системы "покрытие (TiZrCu)\подложка (Al-(22-24)%Si)"
Published: (2017)

Применение малогабаритных бетатронов с выведенным электронным пучком для терапии
by: Чахлов В. Л. Владимир Лукьянович
Published: (2009)

Разработка, исследование и внедрение радиационного метода дефектоскопии слоистых материалов быстрыми электронами Отчет о НИР Тема : х/д № 166/67; №7/69
Published: (Томск, 1969)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
by: Юрчук С. Ю.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

Разработка и исследование бетатрона с выводом пучка для радиационного контроля материалов и изделий быстрыми электронами Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Савельев Б. Ф.
Published: (Томск, 1971)

Некоторые вопросы теории рассеяния быстрых частиц в веществе и во внешних полях
by: Шульга Н. Ф. Николай Федорович
Published: (Киев, Наукова думка, 2010)

Высокоинтенсивная низкоэнергетическая имплантация ионов азота
by: Белый А. В.
Published: (2002)

Отрицательные мюоны в веществе
by: Евсеев В. С.
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Ориентационные эффекты рассеяния быстрых электронов в щелочногалоидных монокристаллах Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Бабудаев А. Я.
Published: (Томск, 1973)

Техническая физика быстрых реакторов с натриевым теплоносителем учебное пособие для вузов
by: Матвеев В. И. Вячеслав Иванович
Published: (Москва, Изд-во МЭИ, 2012)

Калибровка дозиметрической пленки GafChromic EBT3 на клинических ускорителях электронов
Published: (2018)

Проблемы электронного материаловедения
Published: (Новосибирск, Наука, 1986)