Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | |
| Langue: | russe |
| Publié: |
Москва, Радио и связь, 1984
|
| Sujets: | |
| Format: | Livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=282945 |