|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
282945 |
| 005 |
20231101235540.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\306965
|
| 090 |
|
|
|a 282945
|
| 100 |
|
|
|a 20150204d1984 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
|f К. А. Валиев, А. В. Раков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1984
|
| 215 |
|
|
|a 352 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 338-347
|
| 606 |
1 |
|
|a Микролитография
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43681
|9 63144
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a быстрые электроны
|
| 610 |
1 |
|
|a взаимодействие с веществом
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевая литография
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a субмикронная фотолитография
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.75
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Валиев
|b К. А.
|g Камиль Ахметович
|
| 701 |
|
1 |
|a Раков
|b А. В.
|g Александр Васильевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150204
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170802
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
