Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
| Autor principal: | |
|---|---|
| Altres autors: | |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Москва, Радио и связь, 1984
|
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=282945 |
| Descripció física: | 352 с. ил. |
|---|