Валиев К. А. Камиль Ахметович & Раков А. В. Александр Васильевич. (1984). Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике. Москва, Радио и связь, 1984.
Chicago Style (17th ed.) CitationВалиев К. А. Камиль Ахметович and Раков А. В. Александр Васильевич. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике. Москва, Радио и связь, 1984, 1984.
MLA (9th ed.) CitationВалиев К. А. Камиль Ахметович and Раков А. В. Александр Васильевич. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике. Москва, Радио и связь, 1984, 1984.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.