Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии: [монография]; пер. с англ.

Bibliographic Details
Main Author:	Рейви К.
Language:	Russian
Published:	Москва, Мир, 1984
Subjects:	Кремний > Электрофизические свойства получение приборы изготовление дефектообразование дефекты исследование электрические свойства влияние бездефектная технология монографии
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=282402

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	282402
005	20231101235509.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\306292
090			\|a 282402
100			\|a 20150130d1984 k y0rusy50 ca
101	1		\|a rus \|c eng
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии \|e [монография] \|e пер. с англ. \|f К. Рейви
210			\|a Москва \|c Мир \|d 1984
215			\|a 475 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 425-454
320			\|a Предметный указатель: с. 455-471
606	1		\|a Кремний \|x Электрофизические свойства \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\16179 \|9 42347
610	1		\|a получение
610	1		\|a приборы
610	1		\|a изготовление
610	1		\|a дефектообразование
610	1		\|a дефекты
610	1		\|a исследование
610	1		\|a электрические свойства
610	1		\|a влияние
610	1		\|a бездефектная технология
610	1		\|a монографии
675			\|a 537.311.322:546 \|v 4
700		1	\|a Рейви \|b К.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150130
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20170724 \|g RCR
942			\|c BK