MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 282259
005 20231101235500.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\306138 
090 |a 282259 
100 |a 20150129d1983 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Формирование тонких пленок  |e учебное пособие  |f Т. С. Кирсанова  |g Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина (ЛПИ) 
210 |a Ленинград  |c Изд-во ЛПИ  |d 1983 
215 |a 72 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 72 
606 |a Пленки тонкие  |x Исследование  |x (твердые тела)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\71990  |9 85637 
610 1 |a хемосорбция 
610 1 |a адсорбция 
610 1 |a скорость 
610 1 |a изотермы 
610 1 |a изобары 
610 1 |a формирование 
610 1 |a эпитаксия 
610 1 |a учебные пособия 
675 |a 539.216.2(075.8)  |v 3 
700 1 |a Кирсанова  |b Т. С.  |g Татьяна Сергеевна 
712 0 2 |a Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина (ЛПИ)  |c (1924-1930, 1940-1990)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\2601 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150129 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170707  |g RCR 
942 |c BK