MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 281677
005 20231101235427.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\305507 
090 |a 281677 
100 |a 20150124d1984 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Технология электронных приборов  |e сборник научных трудов  |f Ленинградский электротехнический институт (ЛЭТИ) ; гл. ред. О. Г. Вендик 
210 |a Ленинград  |c Изд-во ЛЭТИ  |d 1984 
215 |a 96 с.  |c ил. 
225 1 |a Известия Ленинградского электротехнического института (ЛЭТИ)  |v Вып. 342 
320 |a Библиография в конце статей 
606 |a Полупроводниковые приборы  |x Производство  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692  |9 69343 
610 1 |a электронные приборы 
610 1 |a создание 
610 1 |a технологические процессы 
610 1 |a расчеты 
610 1 |a электронная обработка 
610 1 |a ионно-лучевая обработка 
610 1 |a лазерная обработка 
675 |a 621.382.002  |v 3 
702 1 |a Вендик  |b О. Г.  |g Орест Генрихович  |4 651 
712 0 2 |a Ленинградский электротехнический институт (ЛЭТИ)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\289 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150124 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20190623  |g RCR 
942 |c BK