MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 28167
005 20231030202712.0
010 |a 5020301981 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\28423 
035 |a BOOK00000148 
090 |a 28167 
100 |a 20011209d1993 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 000zy 
200 1 |a Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах  |f В. А. Гриценко 
210 |a Новосибирск  |c Наука  |d 1993 
215 |a 277 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 260-278. 
610 1 |a электроника 
610 1 |a нитрид кремния 
610 1 |a электронная структура 
610 1 |a кремний 
610 1 |a окислы 
610 1 |a МДП-структуры 
610 1 |a интегральные схемы кремниевые 
610 1 |a структура 
610 1 |a физические свойства 
675 |a 621.382.01  |v 3 
700 1 |a Гриценко  |b В. А.  |g Владимир Алексеевич 
801 0 |a RU  |b 63413507  |c 20011209  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20081013  |g PSBO 
942 |c BK