MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 280745
005 20231101235333.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\304302 
090 |a 280745 
100 |a 20150114d1985 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y z 001zy 
200 1 |a Средства повышения эффективности производства интегральных схем  |e сборник научных трудов  |f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) 
210 |a Москва  |c Изд-во МИЭТ  |d 1985 
215 |a 124 с.  |c ил. 
320 |a Библиография в конце статей 
606 1 |a Интегральные схемы  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12775  |9 39495 
610 1 |a производство 
610 1 |a оборудование 
610 1 |a состав 
610 1 |a расчет 
610 1 |a переналадка 
610 1 |a потери 
610 1 |a параметры 
610 1 |a контроль 
610 1 |a автоматические средства 
610 1 |a управление 
675 |a 621.382.049.77  |v 3 
712 0 2 |a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)  |c (1965-1992)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150114 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170316  |g RCR 
942 |c BK