Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профтехобразования

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
Jezik:	ruščina
Izdano:	Минск, Дизайн ПРО, 1998
Teme:	электроника интегральные микросхемы производство литография контактная литография проекционная фотолитография оптические эффекты фотошаблоны гигиена безопасность учебные пособия
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=28000

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	28000
005	20231030202612.0
010			\|a 9856182646
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\28256
035			\|a BOOK00028331
090			\|a 28000
100			\|a 20011209d1998 m y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a BY
105			\|a a j 001zy
200	1		\|a Литография в производстве интегральных микросхем \|e учебное пособие для профтехобразования \|f Ю. А. Родионов
210			\|a Минск \|c Дизайн ПРО \|d 1998
215			\|a 96 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 95.
610	1		\|a электроника
610	1		\|a интегральные микросхемы
610	1		\|a производство
610	1		\|a литография
610	1		\|a контактная литография
610	1		\|a проекционная фотолитография
610	1		\|a оптические эффекты
610	1		\|a фотошаблоны
610	1		\|a гигиена
610	1		\|a безопасность
610	1		\|a учебные пособия
675			\|a 621.382.049.75(07) \|v 3
700		1	\|a Родионов \|b Ю. А. \|g Юрий Анатольевич
801		0	\|a BY \|b 63413507 \|c 20011209 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20111117 \|g PSBO
942			\|c BK