|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
278678 |
| 005 |
20231101235133.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\301956
|
| 090 |
|
|
|a 278678
|
| 100 |
|
|
|a 20141213d1986 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Проблемы электронного материаловедения
|f Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ) ; под ред. Ф. А. Кузнецова
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|a 162 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронная промышленность
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20362
|9 45471
|
| 610 |
1 |
|
|a электронное материаловедение
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a информационное обеспечение
|
| 610 |
1 |
|
|a дефектообразование
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимический синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a микролитография
|
| 675 |
|
|
|a 621.38.002
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Кузнецов
|b Ф. А.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12178
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141213
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160420
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
