Проблемы электронного материаловедения

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Outros autores:	Кузнецов Ф. А. (редактор)
Idioma:	ruso
Publicado:	Новосибирск, Наука, 1986
Subjects:	Электронная промышленность электронное материаловедение электроника информационное обеспечение дефектообразование физико-химические процессы плазмохимический синтез микролитография
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=278678

Descripción
Descrición Física:	162 с. ил.

Títulos similares