Проблемы электронного материаловедения

Бібліографічні деталі
Співавтор:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ)
Інші автори:	Кузнецов Ф. А. (редактор)
Мова:	Російська
Опубліковано:	Новосибирск, Наука, 1986
Предмети:	Электронная промышленность электронное материаловедение электроника информационное обеспечение дефектообразование физико-химические процессы плазмохимический синтез микролитография
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=278678

Опис
Фізичний опис:	162 с. ил.

Схожі ресурси