|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
278541 |
| 005 |
20231101235125.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 86-18940
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\301818
|
| 090 |
|
|
|a 278541
|
| 100 |
|
|
|a 20141212d1986 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Методы повышения параметров БИС
|f В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук
|
| 210 |
|
|
|a Киев
|c Вища школа
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|a 152 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 143-152 (192 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные большие
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43859
|9 63300
|
| 610 |
1 |
|
|a БИС
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a повышение
|
| 610 |
1 |
|
|a конструктивные особенности
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхбольшие интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a геометрические закономерности
|
| 610 |
1 |
|
|a микролитография
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.771
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Деркач
|b В. П.
|g Виталий Павлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Кияшко
|b Г. Ф.
|g Галина Федоровна
|
| 701 |
|
1 |
|a Кухарчук
|b М. С.
|g Маргарита Сергеевна
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141212
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160615
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
