MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 278012
005 20231101235054.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\301289 
090 |a 278012 
100 |a 20141208d1985 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Полупроводниковые тензорезисторы  |e межвузовский сборник научных трудов  |f Новосибирский электротехнический институт (НЭТИ) 
210 |a Новосибирск  |c Изд-во НЭТИ  |d 1985 
215 |a 136 с.  |c ил.  |d 20 см 
320 |a Библиография в конце статей 
606 1 |a Тензодатчики полупроводниковые  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\59408  |9 76961 
610 1 |a тензометрия 
610 1 |a разработка 
610 1 |a конструирование 
610 1 |a технология 
610 1 |a параметры 
610 1 |a улучшение 
610 1 |a пьезосопротивление 
610 1 |a фотопроводимость 
610 1 |a дефекты 
610 1 |a отжиг 
610 1 |a ПКС 
610 1 |a кремневые тензопреобразователи 
610 1 |a проектирование 
610 1 |a кремний 
610 1 |a пленки 
610 1 |a рост 
610 1 |a кинетические исследования 
675 |a 531.781  |z rus  |v 4 
712 0 2 |a Новосибирский электротехнический институт (НЭТИ)  |c (1950-1992)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\203 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20141208 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20171225  |g RCR 
942 |c BK