Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц: монография

Bibliographic Details
Main Author: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Other Authors: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Summary:Монография является систематическим изложением созданной авторами модели тепловой эрозии поверхности при воздействии мощных пучков заряженных частиц и концентрированных потоков плазмы на твердое тело, которое сопровождается фазовыми превращениями первого рода и интенсивной эмиссией атомов с его поверхности. Представлены данные о свойствах этого процесса, полученные на примере металлов, в зависимости от параметров импульсных и ост-росфокусированных сканирующих пучков заряженных частиц, коллективное действие которых создает эффект нелинейного роста скорости эрозии с увеличением плотности тока. Исследованы закономерности усиления эмиссии атомов с поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем. Разработаны методики расчета интенсивности удаления вещества с облучаемой поверхности и определения оптимальных параметров технологической обработки материалов, основанной на использовании мощных пучков заряженных частиц.Книга рассчитана на специалистов в области радиационной физики твердого тела, воздействия мощных импульсных пучков заряженных частиц на вещество и плазменной обработки материалов.
Language:Russian
Published: Новосибирск, Наука, 2014
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=277858

MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 277858
005 20240212134032.0
010 |a 9785020192522 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\301135 
090 |a 277858 
100 |a 20141206d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц  |e монография  |f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков 
210 |a Новосибирск  |c Наука  |d 2014 
215 |a 248 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 228-248. 
330 |a Монография является систематическим изложением созданной авторами модели тепловой эрозии поверхности при воздействии мощных пучков заряженных частиц и концентрированных потоков плазмы на твердое тело, которое сопровождается фазовыми превращениями первого рода и интенсивной эмиссией атомов с его поверхности. Представлены данные о свойствах этого процесса, полученные на примере металлов, в зависимости от параметров импульсных и ост-росфокусированных сканирующих пучков заряженных частиц, коллективное действие которых создает эффект нелинейного роста скорости эрозии с увеличением плотности тока. Исследованы закономерности усиления эмиссии атомов с поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем. Разработаны методики расчета интенсивности удаления вещества с облучаемой поверхности и определения оптимальных параметров технологической обработки материалов, основанной на использовании мощных пучков заряженных частиц.Книга рассчитана на специалистов в области радиационной физики твердого тела, воздействия мощных импульсных пучков заряженных частиц на вещество и плазменной обработки материалов. 
606 1 |a Твердые тела  |x Радиационные повреждения  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58673  |9 76439 
610 1 |a поверхность 
610 1 |a эрозия 
610 1 |a пучки заряженных частиц 
610 1 |a заряженные частицы 
610 1 |a тепловая эрозия 
610 1 |a модулирование 
610 1 |a металлы 
610 1 |a субмикросекундные ионные пучки 
610 1 |a импульсные электронные пучки 
610 1 |a остросфокусированные пучки 
610 1 |a моделирование 
610 1 |a магнетроны 
610 1 |a жидкофазные мишени 
675 |a 539.2:539.1  |v 3 
700 1 |a Блейхер  |b Г. А.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1961-  |g Галина Алексеевна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948  |9 13681 
701 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20141206 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20220310  |g RCR 
942 |c BK