MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 277752
005 20231101235038.0
020 |a RU  |b 86-26292 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\301029 
090 |a 277752 
100 |a 20141205d1986 km y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Точное машиностроение для микроэлектроники  |f Е. Е. Онегин 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1986 
215 |a 88 с.  |c ил. 
225 1 |a Массовая б-ка инженера "Электроника" 
320 |a Библиогр.: с. 86-87 (29 назв.) 
606 1 |a Микроэлектроника  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811  |9 63253 
610 1 |a электронная промышленность, предприятия 
610 1 |a микроэлектронные схемы, интегральные 
610 1 |a производство 
610 1 |a оборудование 
610 1 |a прецизионное оборудование 
610 1 |a интегральные схемы 
675 |a 621.382.049.77  |z rus  |v 4 
700 1 |a Онегин  |b Е. Е.  |g Евгений Евгеньевич  |4 070 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20141205 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20171221  |g RCR 
942 |c BK