MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 277676
005 20231101235034.0
020 |a RU  |b 86-25489 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\300953 
090 |a 277676 
100 |a 20141205d1986 k y0rusy5003 ca 
101 1 |a rus  |c eng 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Силициды для СБИС  |f Ш. Мьюрарка  |g пер. с англ. В. В. Баранова; Под ред. Ю. Д. Чистякова 
210 |a Москва  |c Мир  |d 1986 
215 |a 176 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 6-7 (11 назв.), 160-169 
320 |a Предм. указ.: с. 170-174 
606 1 |a Схемотехника интегральная  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58367  |9 76160 
610 1 |a металлы переходные 
610 1 |a микроэлектронные схемы интегральные большие 
610 1 |a материалы 
610 1 |a силициды 
610 1 |a термодинамические свойства 
610 1 |a механические свойства 
610 1 |a СБИС 
675 |a 621.382.049.77  |z rus  |v 4 
700 1 |a Мьюрарка  |b Ш. П.  |g Шиям П.  |4 070 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20141205 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20221209  |g RCR 
942 |c BK