MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 276060
005 20231101234902.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\299313 
090 |a 276060 
100 |a 20141119d1984 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 000zy 
200 1 |a Материалы электронной техники  |e сборник научных трудов  |f Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ) ; под ред. Е. Б. Соколова 
210 |a Москва  |c Изд-во МИЭТ  |d 1984 
215 |a 132 с.  |c ил. 
606 1 |a Электронная техника  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20376  |9 45485 
610 1 |a электронные приборы 
610 1 |a производство 
610 1 |a материалы 
610 1 |a полупроводники 
610 1 |a диэлектрики 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a эпитаксильные слои 
610 1 |a изоляция 
675 |a 621.38  |z rus  |v 4 
702 1 |a Соколов  |b Е. Б.  |4 340 
712 0 2 |a Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ)  |c (1992-2010)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\2285 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20141119 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170130  |g RCR 
942 |c BK