Фундаментальные вопросы ионной имплантации: материалы III Всесоюзной школы, 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата

מידע ביבליוגרפי
Corporate Authors:	Академия наук Казахской ССР (АН КазССР) Институт физики высоких энергий, Фундаментальные вопросы ионной имплантации
מחברים אחרים:	Добротин Н. А. (редактор)
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Алма-Ата, Наука, 1987
נושאים:	Ионная имплантация > Электроника полупроводники металлы совещания структурные дефекты ионные пучки
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=273292

פריטים דומים