|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
273292 |
| 005 |
20231101234621.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\296501
|
| 090 |
|
|
|a 273292
|
| 100 |
|
|
|a 20141024d1987 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a KZ
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Фундаментальные вопросы ионной имплантации
|e материалы III Всесоюзной школы, 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата
|f Академия наук Казахской ССР (АН КазССР), Институт физики высоких энергий ; под ред. Н. А. Добротина
|
| 210 |
|
|
|a Алма-Ата
|c Наука
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 236 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце докл.
|
| 606 |
1 |
|
|a Ионная имплантация
|x Электроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\39298
|9 59446
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a совещания
|
| 610 |
1 |
|
|a структурные дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049(063)
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Добротин
|b Н. А.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Казахской ССР (АН КазССР)
|b Институт физики высоких энергий
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19407
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Фундаментальные вопросы ионной имплантации
|c материалы
|d III
|e Алма-Ата
|f 1985
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141024
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150625
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
