Фундаментальные вопросы ионной имплантации: материалы III Всесоюзной школы, 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата

Фундаментальные вопросы ионной имплантации: материалы III Всесоюзной школы, 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата

Bibliographic Details
Corporate Authors: Академия наук Казахской ССР (АН КазССР) Институт физики высоких энергий, Фундаментальные вопросы ионной имплантации
Other Authors: Добротин Н. А. (редактор)
Language:Russian
Published: Алма-Ата, Наука, 1987
Subjects:
Ионная имплантация > Электроника
полупроводники
металлы
совещания
структурные дефекты
ионные пучки
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=273292
Description
Physical Description:236 с. ил.

Similar Items