|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
273225 |
| 005 |
20231101234617.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\296434
|
| 090 |
|
|
|a 273225
|
| 100 |
|
|
|a 20141024d1987 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a LT
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Процессы на поверхности твердых тел, активируемые ионными пучками
|e монография
|f Й. Восилюс, Л. Пранявичюс
|
| 210 |
|
|
|a Вильнюс
|c Мокслас
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 212 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 205-212
|
| 606 |
1 |
|
|a Ионы
|x Взаимодействие с поверхностью твердых тел
|y (физика твердого тела)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\39302
|9 59449
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a физическая адсорбция
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a селективность
|
| 675 |
|
|
|a 539.2:539.1
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Восилюс
|b Й.
|
| 701 |
|
1 |
|a Пранявичюс
|b Л.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141024
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170111
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
