|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
270876 |
| 005 |
20231101234402.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 87-32043
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\294057
|
| 090 |
|
|
|a 270876
|
| 100 |
|
|
|a 20141002d1987 k a0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Эллипсометрия: теория, методы, приложения
|f Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт физики полупроводников (ИФП) ; под ред. А. В. Ржанова, Л. А. Ильиной
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 191 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце докл.
|
| 606 |
1 |
|
|a Эллипсометрия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21159
|9 46192
|
| 610 |
1 |
|
|a теория
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a приложения
|
| 610 |
1 |
|
|a шероховатые поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a анизотропные среды
|
| 610 |
1 |
|
|a математический анализ
|
| 675 |
|
|
|a 539.211
|z rus
|
| 702 |
|
1 |
|a Ржанов
|b А. В.
|g Анатолий Васильевич
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Ильина
|b Л. А.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт физики полупроводников (ИФП)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19960705
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141002
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160219
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
