Эллипсометрия: теория, методы, приложения

Bibliografiske detaljer
Institution som forfatter:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
Andre forfattere:	Ржанов А. В. Анатолий Васильевич (редактор), Ильина Л. А.
Sprog:	russisk
Udgivet:	Новосибирск, Наука, 1987
Fag:	Эллипсометрия теория методы приложения шероховатые поверхности анизотропные среды математический анализ
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=270876

Beskrivelse
Fysisk beskrivelse:	191 с. ил.

Lignende værker