APA (7th ed.) Citation

Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Ржанов А. В. Анатолий Васильевич, & Ильина Л. А. (1987). Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск, Наука, 1987.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Ржанов А. В. Анатолий Васильевич, and Ильина Л. А. Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск, Наука, 1987, 1987.

MLA (9th ed.) Citation

Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), et al. Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск, Наука, 1987, 1987.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.