Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Ржанов А. В. Анатолий Васильевич, & Ильина Л. А. (1987). Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск, Наука, 1987.
Chicago Style (17. basım) AtıfАкадемия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), Ржанов А. В. Анатолий Васильевич, ve Ильина Л. А. Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск, Наука, 1987, 1987.
MLA (9th ed.) AtıfАкадемия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП), et al. Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск, Наука, 1987, 1987.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..