|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
270213 |
| 005 |
20231101234327.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 86-97414э
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\293394
|
| 090 |
|
|
|a 270213
|
| 100 |
|
|
|a 20140925d1986 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a g 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Справочник по технологии микроэлектронных устройств
|f З. Ю. Готра
|
| 210 |
|
|
|a Львов
|c Каменяр
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|a 287 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 284 (22 нав.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50669
|9 69320
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a справочники
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a механическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные слои
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049(035)
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Готра
|b З. Ю.
|g Зенон Юрьевич
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140925
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170303
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
