MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 269869
005 20231101234308.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\293047 
090 |a 269869 
100 |a 20140923d1987 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Термические процессы в микроэлектронике  |e учебник  |f О. С. Моряков 
205 |a 3-е изд., перераб. и доп. 
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 1987 
215 |a 200 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 197 
606 1 |a Полупроводниковые приборы  |x Производство  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692  |9 69343 
610 1 |a контрольно-измерительные приборы 
610 1 |a микросхемы 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a термические процессы 
610 1 |a элионная технология 
610 1 |a вакуумная техника 
610 1 |a металлизация 
610 1 |a нанесение 
610 1 |a сборочные работы 
610 1 |a герметизация 
610 1 |a учебники 
675 |a 621.382.002(075.3)  |v 3 
700 1 |a Моряков  |b О. С.  |g Олег Сергеевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20140923 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170303  |g RCR 
942 |c BK