Условие получения однородных наноразмерных резистивных плёнок Ni-Ti методом магнетронного распыления из двух источников; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 325, № 2 : Математика, физика и механика - Васильев В. А. Валерий Анатольевич (2014, 2014)
Заглавие с титульного листа