|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
268034 |
| 005 |
20231101234130.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785922115513
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\291161
|
| 090 |
|
|
|a 268034
|
| 100 |
|
|
|a 20140825d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физика высокочастотного емкостного разряда
|f В. П. Савинов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Физматлит
|d 2013
|
| 215 |
|
|
|a 308 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 297-307.
|
| 330 |
|
|
|a Подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле. Предлагается новая классификация ВЧЕР, частота ВЧ-поля трактуется как фундаментальный параметр разряда. Детально рассмотрены свойства приэлектродных слоев пространственного разряда, природа электрического поля в них, процессы транспорта заряда на электроды. Граничные эффекты во ВЧЕР рассматриваются с учетом таких ранее неизвестных эффектов, как дискретный механизм транспорта электронов плазмы на электроды, краевой эффект и др. Особое внимание уделено обнаруженному явлению возникновения приэлектродных электронных пучков. Исследованы свойства плазмы ВЧЕР при различных режимах разряда. Подробно рассмотрены методы диагностики ВЧЕР. Монография рассчитана на научных работников, занимающихся физикой газового разряда и низкотемпературной плазмы, аспирантов и студентов соответствующих специальностей.
|
| 606 |
1 |
|
|a Высокочастотный разряд
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\3971
|9 32294
|
| 606 |
1 |
|
|a Газовый разряд, сверхвысокочастотный
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\5046
|9 33213
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотные емкостные разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a физические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a граничные эффекты
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a газоразрядная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a пучково-плазменные разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a электрический пробой
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотные поля
|
| 610 |
1 |
|
|a ВЧ-разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a электромагнитные свойства
|
| 675 |
|
|
|a 537.5
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 533.9
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Савинов
|b В. П.
|g Владимир Павлович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140825
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150224
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
