Вып. 8; Активируемые процессы технологии микроэлектроники

Podrobná bibliografie
Parent link:	Активируемые процессы технологии микроэлектроники: междуведомственный тематический научный сборник/ Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ). Вып. 8.— , 1975-1986.— 0320-4502
Jazyk:	ruština
Vydáno:	1986
Témata:	Микроэлектронные схемы > Производство микроэлектроника активация нетермическая стимуляция моделирование контроль технологические процессы
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=266638

Popis
Fyzický popis:	148 с. ил.

Podobné jednotky