|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
266324 |
| 005 |
20231101234006.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 86-85014
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\289343
|
| 090 |
|
|
|a 266324
|
| 100 |
|
|
|a 20140707d1986 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Кн. 1
|
| 210 |
|
|
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|a 404 с.
|c ил.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\292097
|t Технология СБИС
|f под ред. С. Зи
|o пер. с англ.
|v Кн. 1
|d 1986
|
| 606 |
1 |
|
|a Интегральные схемы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12775
|9 39495
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхбольшие микроэлектронные интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a СБИС
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a рост
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллический кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|z rus
|v 3
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140707
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190623
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
