MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 265764
005 20231101233940.0
020 |a RU  |b 80-89597 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\288766 
090 |a 265764 
100 |a 20140630d1980 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Атомная диффузия в полупроводниковых структурах  |f Г. Б. Абдуллаев, Т. Д. Джафаров 
210 |a Москва  |c Атомиздат  |d 1980 
215 |a 280 с.  |c ил.  |d 21 см. 
320 |a Библиогр.: с. 264-274. 
320 |a Предметный указатель: с. 275-277. 
606 1 |a Полупроводники  |x Примеси  |x Диффузия  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50588  |9 69241 
610 1 |a атомы 
610 1 |a перемещения 
610 1 |a механизмы 
610 1 |a дефектообразование 
610 1 |a примеси 
610 1 |a диффузия 
610 1 |a математические основы 
610 1 |a электроперенос 
610 1 |a электродиффузия 
675 |a 537.311.322:539  |v 3 
700 1 |a Абдуллаев  |b Г. М.  |g Гасан Мамед Багир оглы  |4 070 
701 1 |a Джафаров  |b Т. Д.  |g Таяр Джумшуд оглы  |4 070 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20140630 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150512  |g RCR 
942 |c BK