|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
265645 |
| 005 |
20231101233934.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 86-87214
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\288647
|
| 090 |
|
|
|a 265645
|
| 100 |
|
|
|a 20140627g1986 k a0rusy5003 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Кн. 2
|
| 210 |
|
|
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|e (ил.)
|a 453 с.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\292097
|t Технология СБИС
|f под ред. С. Зи
|o пер. с англ.
|v Кн. 2
|d 1986
|
| 606 |
1 |
|
|a Микросистемы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\64466
|9 81360
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a СБИС
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a диагностика
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|z rus
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140627
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160201
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
