Технологические проблемы микроэлектроники

Détails bibliographiques
Collectivité auteur:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики (ИОФ)
Autres auteurs:	Махвиладзе Т. М. Тариэль Михайлович (редактор)
Langue:	russe
Publié:	Москва, Наука, 1988
Collection:	Труды Института общей физики (ИОФАН) АН СССР Т. 14
Sujets:	Микроэлектроника микроэлектронные схемы производство интегральные микросхемы физические основы технологические проблемы
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=264739

Documents similaires