|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
264739 |
| 005 |
20231101233847.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020007234
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 88-48771ж
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\287736
|
| 090 |
|
|
|a 264739
|
| 100 |
|
|
|a 20140621a1988 k a0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технологические проблемы микроэлектроники
|f Академия наук СССР (АН СССР), Институт общей физики (ИОФ) ; под ред. Т. М. Махвиладзе
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 169 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Труды Института общей физики (ИОФАН)
|f АН СССР
|v Т. 14
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a физические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические проблемы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|z rus
|
| 702 |
|
1 |
|a Махвиладзе
|b Т. М.
|g Тариэль Михайлович
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Институт общей физики (ИОФ)
|c (Москва)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11555
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140621
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150219
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
