Технологические проблемы микроэлектроники

מידע ביבליוגרפי
מחבר תאגידי:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики (ИОФ)
מחברים אחרים:	Махвиладзе Т. М. Тариэль Михайлович (редактор)
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Москва, Наука, 1988
סדרה:	Труды Института общей физики (ИОФАН) АН СССР Т. 14
נושאים:	Микроэлектроника микроэлектронные схемы производство интегральные микросхемы физические основы технологические проблемы
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=264739

תיאור
תיאור פיזי:	169 с. ил.
ISBN:	5020007234

פריטים דומים