Технологические проблемы микроэлектроники

Bibliographic Details
Corporate Author:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики (ИОФ)
Other Authors:	Махвиладзе Т. М. Тариэль Михайлович (340)
Published:	Москва, Наука, 1988
Series:	Труды Института общей физики (ИОФАН) АН СССР Т. 14
Subjects:	микроэлектронные схемы производство интегральные микросхемы физические основы технологические проблемы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=264739

Description
Physical Description:	169 с. ил.
ISBN:	5020007234

Similar Items