Академия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики (ИОФ) & Махвиладзе Т. М. Тариэль Михайлович. (1988). Технологические проблемы микроэлектроники. Москва, Наука, 1988.
Dyfyniad Arddull ChicagoАкадемия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики (ИОФ) and Махвиладзе Т. М. Тариэль Михайлович. Технологические проблемы микроэлектроники. Москва, Наука, 1988, 1988.
Dyfyniad MLAАкадемия наук СССР (АН СССР) Институт общей физики (ИОФ) and Махвиладзе Т. М. Тариэль Михайлович. Технологические проблемы микроэлектроники. Москва, Наука, 1988, 1988.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.