MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 264220
005 20231101233818.0
020 |a RU  |b 88-66874 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\287211 
090 |a 264220 
100 |a 20140617d1988 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Физические основы приборов микроэлектроники  |e сборник научных трудов  |f Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ) ; под ред. Т. Д. Шермергора 
210 |a Москва  |c МИЭТ  |d 1988 
215 |a 132 с.  |c ил.  |d 20 см 
320 |a Библиогр. в конце статей 
606 1 |a Микроэлектронные схемы интегральные  |x Физика  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43858  |9 63299 
610 1 |a светоизлучающие туннельные структуры 
610 1 |a микроэлектронные приборы 
610 1 |a оптоэлектронные микроприборы 
610 1 |a твердотельная электроника 
675 |a 621.382.049.77:53  |z rus  |v 3 
702 1 |a Шермергор  |b Т. Д.  |g Тимофей Дмитриевич  |4 340 
712 0 2 |a Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ)  |c (1992-2010)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\2285 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20140617 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150312  |g RCR 
942 |c BK